倉敷化工 KURASHIKI KAKO線性馬達(dá)型主動(dòng)式除震臺(tái) L Type 系列
L Type 系列 ．主動(dòng)式除震臺(tái) ．相較于氣壓方式，空氣的使用量少，所以具有更優(yōu)越的除震功能 ※LC TYPE完全不必使用氣壓 ．在高頻率領(lǐng)域也可控制
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．主動(dòng)式除震臺(tái)
．相較于氣壓方式，空氣的使用量少，所以具有更優(yōu)越的除震功能
※LC TYPE完全不必使用氣壓
．在高頻率領(lǐng)域也可控制
LS TYPE
?L系列的旗艦型
?FB?FF控制具有出色的主動(dòng)隔震性能
主要用途
?掃描型電子顯微鏡
?掃描型探針顯微鏡
?表面檢查設(shè)備等
LH TYPE
?圓頂萬象活塞和螺旋彈簧的混和構(gòu)造
?實(shí)現(xiàn)小型化，不占空間
?適合高重心設(shè)備
主要用途
?穿透式電子顯微鏡
?掃描型電子顯微鏡等
LC TYPE
?提供垂直FB、水平FB、FF等機(jī)能需求的選擇
?選擇需求的機(jī)能，客制價(jià)格合理實(shí)惠的主動(dòng)式除震臺(tái)
?無須氣壓源
主要用途
?泛用掃描式電子顯微鏡
?表面檢查設(shè)備等
LS TYPE
LH TYPE
LC TYPE
產(chǎn)品規(guī)格
LS TYPE
| EST-L4SR | EST-L5SR | EST-L6SR | |
| 驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu) | 線性馬達(dá) | ||
| 控制方式 | FB、FF 6自由度控制 | ||
| 水平調(diào)整方式 | 自動(dòng)水平 | ||
| 控制器※1 | 數(shù)位式控制 | ||
| 最大搭載重量(kg)※2 | 120 | 210 | 390 |
| 外形尺寸(mm) A | 200x200 | 200x200 | 230x230 |
| 安裝尺寸(mm) B | 180x180 | 180x180 | 210x210 |
| 作動(dòng)時(shí)高度(mm) | 169 | 169 | 169 |
| 製品重量(kg) | 10 | 10 | 14 |
LH TYPE
| EST-L5HR-L | EST-L5HR-M | EST-L5HR-H | EST-L6HF-L | EST-L6HF-M | EST-L6HF-H | |
| 驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu) | 線性馬達(dá) | |||||
| 控制方式 | FB、FF 6自由度控制 | |||||
| 水平碉整方式 | 自動(dòng)水平 | |||||
| 控制器※1 | 數(shù)位式控制 | |||||
| 搭載重量(kg)※2 | 190?320 | 240?350 | 290?400 | 340?570 | 500?660 | 630?750 |
| 外形尺寸(mm) A | 220x220 | 240x240 | ||||
| 安裝尺寸(mm) B | 200x200 | 220x220 | ||||
| 作動(dòng)時(shí)高度(mm) | 176 | 185 | ||||
| 製品重量(kg) | 20 | 29 | ||||
LC TYPE
| EST-L100-?? ※1 | |
| 驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu) | 線性馬達(dá) |
| 控制方式 | 垂直FB ?水平FBヽFF 6控制 可選配 |
| 水平調(diào)整方式 | 手動(dòng)式水平 |
| 控制器 | 類比式控制※2 |
| 搭載重量(kg)※3 | 25 ?100 |
| 外形尺寸(mm) A | 100 x 100 x 100 |
| 安裝尺寸(mm) B | 92x92 |
| 作動(dòng)時(shí)高度(mm) | 100 |
| 製品重量(kg) | 2.5 |
| LS/LH專用控制器 | LS/LH專用電源 | LC專用FF控制器(選配) | LC專用電源 | |
| 外型 (WxDxHmm) | 150x130x62 | 180x220x100 | 160x250x40 | 160x250x50 |
| 重量(kg) | 1kg | 3 kg | 1.6kg | 1.9kg |
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